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XRR：X-ray Reflectivity
XRRは、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 （2～300nm 程度） ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能（Rms = 5nm 以下） ・非破壊で分析が可能 ・約10×20mm の広い範囲の平均情報を得ることが可能
X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です
有機ELディスプレイは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点を活かし、実用化が進みつつあります。有機ELデバイスは有機膜を積層させて作製しますが、有機膜積層状態での有機膜分析を行うことは困難でした。今回、XRR法を用いることによって、積層状態のまま、有機膜の膜厚測定および密度測定を行うことが可能となりました。 結晶質、非晶質を問わず、積層膜の膜厚および密度の分析が可能です。
東北大学技術のご紹介（T07-098）：集光精度の高い曲率分布結晶レンズを実現！ Ｘ線強度を高め、装置の小型化、長寿命化が可能！
従来のＸ線用モノクロメータは、分光結晶を弾性的に少し曲げ、その後研磨に よって所定の回折が均一に得られるように仕上げが行われている。しかし、この弾性 限界内で変形させた作成方法では、曲率の大きな曲げができないため、大型の Ｘ線装置にしか用いることができないことに加え、弾性変形結晶の保持における変 形量の安定性、経年変化の問題もある。 本発明によって、入射角範囲が広く、集光精度の高い曲率分布結晶レンズを実 現することが可能となった。本発明の曲率分布結晶レンズは、GeまたはSiの(110) 単結晶板を高温型押し成型により塑性変形させて作られることを特徴としている。 また、本発明のＸ線反射率測定装置は、上記の曲率分布結晶レンズを備えるこ とで広角度での集光が可能となり、Ｘ線強度を飛躍的に高めることができる。
