シリコンウェハ用めっき実験装置セット
2～12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。
電流密度分布とめっき液の循環を考慮した特殊な水槽と治具で構成されています。専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、1面オーバーフロータイプと、高速撹拌が可能になった2面オーバーフロータイプがあります。直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。 ウェハ用めっき装置として20年の実績があり、多数の特許を取得しています。治具一つからの特注対応もしておりますので是非ご用命下さい。
- 企業：株式会社山本鍍金試験器
- 価格：応相談
