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アパチャー付きXYステージ(真空) - 企業1社の製品一覧

製品一覧

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ファイメス社 アパチャー付き XYステージ

ロングストローク、しかも高分解能(5nm 更に高分解能も特注で可)

アパチャー付き XYステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-3軸ステージはMP 84-LMとなります。Non-maguneticオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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