ロングストローク、しかも高分解能(5nm,更に高分解能も特注で可)
アパチャー付き XYステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-3軸ステージはMP 84-LMとなります。Non-maguneticオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特長】 [KDT105] ○ロングストローク、しかも高分解能(5nm,更に高分解能も特注で可) ○線形システム ○可動範囲設定リミットスイッチ付 ○高真空対応オプション可 ○非磁性対応オプション可 ○クリーンルーム仕様対応オプション可 ○Non-maguneticオプション可 [KDT180-LM] ○モータ数は1軸につき1個(オプションで2個まで対応可) ○可動範囲設定リミット ○真空・非磁性オプション可 ○クリーンルーム仕様対応可 [KDT255] ○停止点:強制停止点調整機能 ○ペアリング:クロスローラーベアリングによりバックフラッシュなし ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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