±0.1µm再現性と6軸制御により、光学アライメントや検査工程の位置補正を高精度化
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。
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基本情報
・ブラシレスモーターとアブソリュートエンコーダ ・±0.1μmの位置再現性 ・最大30kgの耐荷重 ・移動距離：最大±50mm/±30° ・任意に回転中心を設定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・光学素子の6自由度アライメント（レーザー・レンズ等） ・バイオ・医療分野におけるマイクロマニピュレーション ・マイクロアセンブリや精密試料位置決めステージ ・自動検査・測定装置での多軸姿勢制御 ・加工ヘッドや試料の高精度6軸モーション制御 ・ロボティクス・研究開発用マルチ自由度ステージ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
