高荷重でもアライメント品質を維持するヘキサポッド
30kg対応と±0.1µm再現性により、半導体製造や光学調整工程の位置ズレを低減
H-825は、±0.1µmのZ軸再現性と高剛性設計により、半導体製造や光学調整分野における精密動作に対応します。 耐荷重は最大30kg、ブラシレスDCギアモータ駆動・アブソリュートロータリーエンコーダにより初期化動作不要で即座に稼働可能。 安定した高精度位置決めと姿勢制御を実現します。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
維持ヘキサポッド - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
維持ヘキサポッドの製品一覧
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三次元計測の測定品質を維持するヘキサポッド
±0.1µm再現性と6軸補正により、計測対象の姿勢誤差を低減
H-840は、スチュワートプラットフォーム構造を採用した高精度ヘキサポッドで、6本のアクチュエータにより並列駆動されます。 Z軸±25mm、X/Y方向±50mm、回転±30°と柔軟な動作を実現し、光学アライメントやマイクロマニピュレーションなどの高度な位置制御が可能。 最大30kgまでの荷重に対応し、±0.1µmの位置再現性と高い制御精度を兼ね備えています。
- 企業：PIジャパン株式会社
- 価格：応相談
