応用事例:高スループット・レンズアライメントを支えるヘキサポッド
24時間365日稼働の産業用自動化に対応する産業用ヘキサポッド
H-815は、高精度レンズアライメントをはじめ、光学部品・フォトニクスのアセンブリ、レーザー材料加工における精密制御、24時間365日稼働の産業用自動化に対応する産業用ヘキサポッドです。 特に高スループットレンズアライメント工程で優位性を発揮し、X/Y/Zおよびピッチ・ロール・ヨーの6自由度制御により、高精度な位置・姿勢補正を実現。 最大20mm/sの移動速度、最小ステップ50nm、繰り返し精度±0.05µmを備え、連続運転下でも安定性能を発揮します。絶対値エンコーダー搭載で再原点復帰不要、Ethernet/EtherCAT対応により装置統合も容易です。
- Company:PIジャパン株式会社
- Price:応相談