【導入事例】半導体製造装置部品へのアルミナ溶射
【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射
【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術 【課題】 半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。 【解決策】 当社のアルミナ溶射により高純度被膜を生成、短納期にも対応しました。 【当社の売り】 当社のプラズマ溶射設備は、単発品や試作品への対応を得意としております。 ※ネット上には、出していない資料もございます。 詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問合せください。 ※導入事例資料はカタログのアイ・シイ・エス導入事例集からダウンロード可能です。
- 企業：株式会社アイ・シイ・エス
- 価格：応相談
