【絶縁性向上】半導体製造装置部品へアルミナ溶射
【効果】絶縁性、耐プラズマ性向上のアルミナ溶射技術 【課題】 半導体製造装置部品において、静電気障害を防止する解決策としてアルミナ溶射技術が利用されてきたが、高純度被膜である事、及び短納期対応が課題であった。 【解決策】 当社のアルミナ溶射により高純度被膜を生成、短納期にも対応しました。 【当社の売り】 当社のプラズマ溶射設備は、単発品や試作品への対応を得意としております。 ※ネット上には、出していない資料もございます。 詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問合せください。 ※導入事例資料はカタログのアイ・シイ・エス導入事例集からダウンロード可能です。
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基本情報
半導体製造装置部品へのアルミナ （Al203 99.9％）溶射 目的：絶縁性、耐プラズマ性の向上 膜種：アルミナ溶射Al203（99.9％） 膜厚：50~500μm 対応基材：Al、石英、SUSなど
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用途／実績例
半導体製造装置部品へのアルミナ（Al203 99.9％）溶射により 絶縁性、耐プラズマ性の向上
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アイ・シイ・エスは、「総合熱処理メーカー」として 自動車、航空機、電気機器、インフラ、医療等 様々な分野の金属部品にベストな機能付与を提供しています。 弊社では、打合せ→引取り→洗浄→加工→検査→納品の流れで 開発から量産までお客様とご一緒に取り組ませていただき、 成果につながるお手伝いをさせていただきます。 ■年間取引先数は700社以上！ ＞短納期対応可能！ ＞部品は1個から試作対応可能！ ＞大量ロットの量産部品も対応可能！ また、各種認証を取得しており JISQ9100（航空宇宙品質マネジメントシステム） ISO14001（環境マネジメントシステム）等 厳格な品質管理体制と環境に優しい事業活動のもと、 安心安全な製品供給を実現します。 アイ・シイ・エスの技術力は信頼から生まれます。 創業以来52年、弊社はお客様と共に発展して参りました。 現状では物足らない特性や機能をぜひご相談ください。 オンライン相談も承っております。 弊社は、関東6県だけでなく東北、中部、近畿地方のお取引先様まで 全国各地から信頼を頂いております。
