イオンエネルギー分光法『IES』
高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能！プロセスモニタリングのための診断ツール
『Ion Energy Spectroscopy(IES)』は、イオンエネルギー分光法です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から高品質な薄膜と 界面の情報を得ることができます。 【特長】 ■プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から 高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ハイテック・システムズ
- 価格：応相談
