高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能！プロセスモニタリングのための診断ツール
『Ion Energy Spectroscopy(IES)』は、イオンエネルギー分光法です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から高品質な薄膜と 界面の情報を得ることができます。 【特長】 ■プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から 高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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弊社ホームページでFPD・半導体関連の中古設備情報を掲載しています。 ●主な業務内容 半導体製造装置の中古買取、リファビッシュ(再生)、販売、立上業務 半導体製造ラインの構築及びコンサルタント FPD製造装置の中古買取、リファビッシュ（再生)、販売、立上業務 FPD製造ラインの構築及びコンサルタント 半導体製造設備及びFPD製造設備の受託開発・製造・販売 各種装置部品の販売 海外製製造装置の代理店販売