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最終更新日:2023年06月21日

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高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能!プロセスモニタリングのための診断ツール

『Ion Energy Spectroscopy(IES)』は、イオンエネルギー分光法です。 PLD/PEDシステムに対してin-situにおけるリアルタイムでの プロセスモニタリングのための診断ツールを提供。 プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から高品質な薄膜と 界面の情報を得ることができます。 【特長】 ■プラズマプルームによるレーザーのエネルギー論から  高品質な薄膜と界面の情報を得ることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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