イオンエネルギー測定器 - 企業1社の製品一覧

イオンエネルギー測定器

エッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。

検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。 プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。 - イオンエネルギー分布 - イオンフラックス - イオンカレント - エレクトロンフラックスとエネルギー

• 企業：株式会社マツボー
• 価格：応相談

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