プラズマイオン注入成膜装置
日本発のまったく新しいガスイオン注入も可能なDLCコーティング装置です。
・真空装置部の大型が容易に可能で最大長さ4m、直径1.2mの大型装置の納入実績もあります ・完全自動運転のためコスト低減が可能です ・DLC成膜のほかに簡易なイオン注入も可能で新しい材料の開発も可能です ・自転公転機構やヒーターが必要ないため真空装置内のパーティクルの発生を最小限に抑えることが可能です
- 企業：株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
- 価格：応相談
イオン注入成膜装置(加工) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり
イオン注入成膜装置の製品一覧
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DLCコーティング加工 PEKURIS COAT
他に類を見ない三次元成膜技術で、不可能を現実にします。
PEKURIS COATは、株式会社栗田製作所独自開発のプラズマイオン注入成膜装置で成膜します。真空中にガスを導入し、処理基材自身にパルスRFと高圧パルスを印加することにより、ワーク（基材）に沿った形でプラズマの生成が可能です。またパルス電源を利用しているため、低温40℃～での処理も可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社栗田製作所 本社・京都事業部
- 価格：応相談
