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産総研・ミニマルファブ監修×分解能0.1μm。高精度モールド転写装置。
本装置は、つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合の監修のもと開発された、モールドをワークへ精密に転写する高精度転写装置です。 【主な特長】 高度な加圧制御：圧電素子荷重センサ（分解能1N）とパルスモータ制御により、最大1kNまでのパラメータ加圧設定と0.1μmの高精度な加圧分解能を実現します。 幅広いワーク対応：シリコンやGaAsなどの基板（φ12.5〜φ100mm）に対応。押さえ部品による確実な機械的固定が可能です。 PDMSモールド対応：φ12.5mmのPDMS熱可塑性樹脂レプリカモールドの固定・転写にも対応しています。
ライズワンの精密転写技術を盛り込んだ装置のラインナップです。
弊社では、お客様の自動化、省力化、既存設備のアップグレードというご希望に対応すべく製作しております。 ◆ロール加圧式インプリント装置：大面積モールドからガラス基板へのUVインプリントを行う装置(転写方式 - 転写ローラーによる加圧方式、転写速度 - 0.1mm/秒～50.0mm/秒) ◆インプリント装置：モールドからウェハに転写する装置(つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修) ◆ミニマルインプリント装置：モールドをワークに転写する装置(つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修) ◆インプリントステッパー：ナノ単位の高精度な位置決めを行い、モールドからウェハに複数回に分けてUVインプリントを行う装置(つくば産総研・ミニマルファブ技術研究組合監修)
