米国mott社製インラインガスフィルターPOUシリーズ
半導体産業や各種ハイテク産業向け高性能インラインフィルター
ご使用のガス種・使用流量に合わせた製品を多数ラインナップ。
- 企業:株式会社テクメイション
- 価格:応相談
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半導体産業や各種ハイテク産業向け高性能インラインフィルター
ご使用のガス種・使用流量に合わせた製品を多数ラインナップ。
ニッケルエレメントを使用した低価格・低圧損インラインフィルター
腐食性ガスをはじめ、様々なガス種へ対応可能な製品を多数ラインナップ。
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています!高純度アルミナを使用
クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。 幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。 【特徴】 ・優れたガス置換特性 ・高耐食性 【仕様】 材料:アルミナ多孔体(エレメント部)/SUS/ニッケル/PTFE 【用途】 各種半導体プロセス用インラインガスフィルター ※詳しくはお問い合わせください
ファイバーエレメントを使用した低価格インラインフィルター
不活性ガス向けの低価格フィルターであり、テフロンエレメント製フィルターからの置換にも最適。
リキッドソースの気化ラインに最適なフィルター
mott社独自技術によるエレメントを採用したリキッドソース向けインラインフィルター。
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガスフィルターです。
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保するためにろ過した窒素でパージされ出荷されます。 様々な接続タイプをご用意しており、容易に取り付けられるようになっています。