ED SCOPE Til イーディー スコープ タイル
見えない、見にくいナノサイズの欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化する新感覚スコープ
・目視検査が困難なウエハ内外部の欠陥を誰でも簡単に定量的に短時間で検査・評価することが可能。 ・特殊光学系技術と特殊画像処理技術のコラボにより欠陥を鮮明に浮き上がらせ可視化。 ・深さ（Ｚ方向）はナノレベル、視野範囲（ＸＹ方向）はマクロレベルの観察が可能。 ・スクラッチ、クラック、ディンプル、ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク、ボイド、異物...等の検出。 ・自動タイリングステージによりΦ100mm～Φ300mmウエハに対応。
- Company：日本ピストンリング株式会社
- Price：応相談
