ウェットステーション
早くて正確な半導体製造プロセス
柔軟度が高く正確なプロセスコントロール 200mmもしくは300mmウェハー用の自動ウェットプロセシングシステムである本製品はキャリア有無どちらでも使用でき、正確なプロセスモニタリ ング、高い生産性と柔軟性を持つように設計されております。 RENAのSemi Processing Platformはお客様の要求によって調整できる柔軟性を持ち、最大の生産品質と量産性をもたらします。 特筆すべきは、フレキシブルキャリアレスハンドリングシステムで、厚みの異なるウェハーを同時に加工することが可能です。
- 企業：株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
- 価格：応相談
