LEDウェハーUV照射器
ウェハー用ダイシングテープの硬化用途、UV-LED採用で安定長寿命
LED採用で安定長寿命。 6インチ、8インチウェハー対応。 12インチウェハー用製作可能。 照射器交換可能(365 385 395 405nm等)。 0～１００％調光可能。 窒素置換(N2パージ)機構採用によりＵＶ硬化時の酸素阻害を軽減。
- 企業：株式会社アイテックシステム
- 価格：100万円 ~ 500万円
ウェハUV照射装置 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
1～1 件を表示 ／ 全 1 件
表示件数
