ウエハエッジ検査機 WEG3000
トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現！
300mmウエハの外周エッジ部断面プロファイル形状検査とエッジ部全周囲の画像欠陥検査の自動検査機です。 エッジ欠陥個所をレビュー検査して画像ファイルできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
ウェハエッジ検査装置×株式会社アイティ・テック - 企業1社の製品一覧
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ウエハエッジ検査機
計測分解能を下げずに他社に比べて低価格！
ウエハ外周全周の端面と上下面の3面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップ欠陥の検査をします。 検査ウエハを吸着してカメラでノッチ／オリフラなどのウエハ形状を認識して最適な駆動制御をします。 新開発のトリプル光学系とインテグレイト照明が画像処理に最適な照明を実現しました。 検査時間は1枚に10秒と高速です。 外部通信機能でこのまま自動機に組込ができます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
- 企業：株式会社アイティ・テック
- 価格：応相談
