ウェハトリミング機 - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ウエハトリミング装置　SST-M01T

ウエハ表面をイオンビームにより平坦化・凹凸除去

本ウエハトリミング装置はφ4インチもしくはφ6インチウエハに対して収束させたイオンビームを照射することで、ウエハ表面の凹凸をσ=1.0nm以下まで平坦化できるため、精密加工に貢献します。