ウエハ表面をイオンビームにより平坦化・凹凸除去
本ウエハトリミング装置はφ4インチもしくはφ6インチウエハに対して収束させたイオンビームを照射することで、ウエハ表面の凹凸をσ=1.0nm以下まで平坦化できるため、精密加工に貢献します。
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基本情報
【特 長】 1．ロードロックタイプでトリミング室を常に真空に保てるため安定性・再現性が高い。 2．真空中にてダブルハンドでウエハの入れ替えを行うため搬送待ちによる時間ロスが最小限。 3．独自のウエハアライメント機構によりトリミング前後でウエハの割れ欠け検知が可能。 4．イオンソース用グリッドのラインナップあり。（ハイレート用、高精度用、低コスト用など） 5．対象ウエハに合わせてハード面・ソフト面での各種カスタマイズが可能。 6．イオンソースの引取りメンテナンスサービスにより安定した装置運用の提供。 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途・応用例】 5G高周波フィルター向けSAWデバイス・BAWデバイス、光通信向け光学デバイスなど（上記以外もトリミング実験を実施し、対応可否を検証させていただき ます。）
詳細情報
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SST-M01T ウエハトリミング装置
企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。
