HIWIN ウエハロードポート
8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。
ウエハロードポートHLPシリーズは、 8インチ・ 12インチ製品の搬入出に対応する共用型ロードポートです。 FOUP/FOSBに直接接続でき、 8インチオープンカセット用のアダプター(8OCA)をオプションで選択可能です。
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
ウェハロードポート - メーカー・企業と製品の一覧
ウェハロードポートの製品一覧
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【EFEM向け】HIWIN ウエハロードポート
8インチ、12インチ製品の搬入出に対応するロードポート
半導体製造業界では、製造プロセスの効率化と品質向上のために、ウエハの搬送における自動化が求められています。特に、クリーンな環境下での正確な搬送は、製品の歩留まりに大きく影響します。HIWIN ウエハロードポートは、8インチ・12インチのFOUP/FOSBに対応し、Class 1のクリーン度を誇ることで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・リソグラフィ、エッジング、CVD、PVD、洗浄、検査、パッケージング工程でのウエハ搬送 【導入の効果】 ・自動化による生産効率の向上 ・クリーン環境の維持による歩留まり向上 ・安全性の確保
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
【半導体製造向け】HIWIN ウエハロードポート
8インチ、12インチウエハ搬送を自動化するロードポート
半導体製造業界では、製造プロセスの効率化と品質向上のために、ウエハの搬送における自動化が求められています。特に、クリーンな環境下での正確な搬送は、製品の歩留まりに大きく影響します。HIWIN ウエハロードポートは、8インチ・12インチのFOUP/FOSBに対応し、Class 1のクリーン度を誇ることで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・リソグラフィ、エッジング、CVD、PVD、洗浄、検査、パッケージング工程でのウエハ搬送 【導入の効果】 ・自動化による生産効率の向上 ・クリーン環境の維持による歩留まり向上 ・安全性の確保
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
【EFEM向け】HIWIN ウエハロードポート
8インチ、12インチ製品の搬入出に対応するロードポート
半導体製造業界では、製造プロセスの効率化と品質向上のために、ウエハの搬送における自動化が求められています。特に、クリーンな環境下での正確な搬送は、製品の歩留まりに大きく影響します。HIWIN ウエハロードポートは、8インチ・12インチのFOUP/FOSBに対応し、Class 1のクリーン度を誇ることで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・リソグラフィ、エッジング、CVD、PVD、洗浄、検査、パッケージング工程でのウエハ搬送 【導入の効果】 ・自動化による生産効率の向上 ・クリーン環境の維持による歩留まり向上 ・安全性の確保
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
