8インチ、12インチ製品の搬入出に対応するロードポート
半導体製造業界では、製造プロセスの効率化と品質向上のために、ウエハの搬送における自動化が求められています。特に、クリーンな環境下での正確な搬送は、製品の歩留まりに大きく影響します。HIWIN ウエハロードポートは、8インチ・12インチのFOUP/FOSBに対応し、Class 1のクリーン度を誇ることで、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・リソグラフィ、エッジング、CVD、PVD、洗浄、検査、パッケージング工程でのウエハ搬送 【導入の効果】 ・自動化による生産効率の向上 ・クリーン環境の維持による歩留まり向上 ・安全性の確保
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基本情報
【特長】 ・8インチ、12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 ・製品のクリーン度はClass 1。 ・安全規格に準拠し、非常停止機能を搭載。 ・リニアガイドウェイや単軸ロボットなどの主要部品は独自に研究開発・製造。 ・ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、顧客ニーズに応じたカスタマイズに対応。 【当社の強み】 HIWINは、世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様な顧客ニーズに対応するために製品開発に注力しています。機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。
価格帯
納期
用途／実績例
リソグラフィ、エッジング、 CVD、 PVD、洗浄、検査、パッケージングなどの半導体製造装置に
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企業情報
HIWIN（ハイウィン）は台湾、台中に本社（資本金約160億円、従業員約6,400名）を置き、日本以外にドイツ、アメリカなど、世界12か国に拠点を置くグローバル企業です。世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力し、世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げ、優良パートナー企業へと躍進しています。（ISO9001, ISO14001, ISO45001認証取得） また、機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。 1999年設立の日本法人、ハイウィン株式会社は本社を兵庫県神戸市に構え、日本全国10都市に営業拠点を配置。2022年、神戸市内約7500坪の敷地に研究開発機能を備えた本社工場を設立いたしました。 今後、当社は各領域において専門性を発揮し、価値ある製品の製造・開発を通じ、お客様に最適なソリューションの提供に向けて全力を尽くすことで、「次世代ものづくりを支える」企業として日本の産業発展に貢献します。
