ロードポートは新たなステージへ。可動部はパーティクル性能を向上させた構造です
『TAS450』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループットについて、 最高クラスの性能を有しています。 【特長】 ■SEMI Standard E154 ■可動部はマッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、 パーティクル性能を向上させた構造 ■マッピングユニット（透過型センサ）をオプションにて取り付け可能 ■FOUP ドック時の障害物検出機能を搭載 ■FOUP 在荷時のFOUP有無、及び正常載置検出機能を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様(抜粋)】 ■対象FOUP ・SEMI-E158 及び E154 に準拠する450mmFOUP ■外形寸法・重量 ・全高：1437mm ・全幅：630mm ・奥行：573mm（BOLTS インターフェース面より） ・重量：115kg（マッパー以外の各種オプションを含まず） ■ドッキングメカニズム ・FOUP クランプ：Hold Down Feature（エア駆動） ・FOUP ドア保持：真空吸着 ・ドッキング時のウエハ位置：BOLTS インターフェース面より254mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
TDK株式会社は、主に磁気ヘッド、マグネット、電源、電池などのデバイスを開発、製品化している会社です。当社の主力製品は、フェライトコア、コイル、トランス、セラミックコンデンサ、センサなどの受動部品と呼ばれる、あらゆる電気・電子機器に使われる基礎部品です。現在は、これらで蓄積し、磨き上げた技術とノウハウをベースに、商品の開発、製品化を行っております。