ウエハ外観検査装置(ダイシング前)
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能！高速かつ高精度な検査を実現
『ウエハ外観検査装置(ダイシング前)』は、ウエハ工程で発生する 外観欠陥を高速かつ高精度で検査が可能な装置です。 検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(マクロ検査約10um分解能以上) また、ビューワーソフトは、検査結果マップ表示機能・NGチップ拡大表示機能・ 不良分類表示機能(不良項目/検査総数/OK/NG)がお使いいただけます。 【特長】 ■多機能画像検査ソフトHu-Dra ■ウエハ工程で発生する外観欠陥の検査が可能 ■オートフォーカス機能(オプション) ■全数のマーキングミスチェック機能(オプション) ■ID読込み及びマッピングデータ出力機能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ヒューブレイン
- 価格：応相談
