【半導体業界】半導体ウェハ自動搬送装置
「振動を断ち、位置を整え、スムーズに送り出す。検査精度を極めるウェハ自動供給・搬送システム。」
微小な振動をシャットアウトし、完璧なアライメントで送り出す。 半導体ウェハ自動供給・搬送システム キャリアから取り出した半導体ウェハを、高精度なプリアライメント機構（XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上／吸着テーブル）により確実に位置補正し、検査部へスムーズに供給します。 さらに、本体には徹底した除振機構を採用しており、検査時の微細な振動をシャットアウト。高精度な検査を強力にバックアップします。 検査完了後も、ウェハの自動退出からキャリアの元の位置への確実な格納までをフルオートで完結。半導体製造・検査ラインの効率化と信頼性向上に貢献します。 株式会社ライズワンは 「設計から、その先（保守・改善）まで。FA装置のすべてを、ひとつのチームで。」 「『こうしたい』をカタチにし、ずっと守り抜く。FA装置のワンストップ・パートナー。」
