「振動を断ち、位置を整え、スムーズに送り出す。検査精度を極めるウェハ自動供給・搬送システム。」
微小な振動をシャットアウトし、完璧なアライメントで送り出す。 半導体ウェハ自動供給・搬送システム キャリアから取り出した半導体ウェハを、高精度なプリアライメント機構（XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上／吸着テーブル）により確実に位置補正し、検査部へスムーズに供給します。 さらに、本体には徹底した除振機構を採用しており、検査時の微細な振動をシャットアウト。高精度な検査を強力にバックアップします。 検査完了後も、ウェハの自動退出からキャリアの元の位置への確実な格納までをフルオートで完結。半導体製造・検査ラインの効率化と信頼性向上に貢献します。 株式会社ライズワンは 「設計から、その先（保守・改善）まで。FA装置のすべてを、ひとつのチームで。」 「『こうしたい』をカタチにし、ずっと守り抜く。FA装置のワンストップ・パートナー。」
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基本情報
■FFU（クリーンファンユニット）付、完全密閉型クリーン環境検査。 ■除振機構 ■ウェハ有無の自動検出機能 ■プリアライメント機構 XY軸ストローク：±2mm以上、θ軸ストローク角度：±15度以上、吸着テーブル。 ■ウェハ入れ替えタクトタイム：60秒 ■陽圧仕様 26.6ｘ10³ Pa程度 ■QRコード読み取り機能：ロット情報
価格帯
納期
用途／実績例
検査機に対して半導体ウェハを自動供給する装置です。
企業情報
【「市場にない装置」から「既存設備の改造」まで。現場の最適解をワンストップで】 自動車の検査装置設計や、ECU検査装置、半導体・カード製造・画像検査・などのFA装置まで。ライズワンは、幅広い業界のお客様に向けてオーダーメイドの自動化・省力化設備を提供しています。 「こんな装置を作りたい」「今の設備を省人化・省エネ化へ改造したい」――そんな現場の切実なご要望に対し、経験豊富な当社の技術陣が、ハードウェア・ソフトウェアの設計から製作、組立、保守まで一貫してサポート。既製品では解決できない現場の課題こそ、私たちの技術と経験が活きる領域です。ものづくりのパートナーとして、ぜひお任せください。
