ウェハー露光装置（マスクアライナー）
全自動タイプ(2～12inch 及び 角型等)ウェハー露光装置
概要 高精細露光に最適化た独自UV光学系とフォトマスクとウエハを高精度に平行出しできるメカニズムを採用 バキュームコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシミティー迄対応した全自動露光装置 特注対応可能
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
ウェハ露光装置×株式会社清和光学製作所 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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ウエハー露光装置（マスクアライナー） 研究開発用
研究開発用手動タイプ
概要 研究開発，小ロット生産まで多用途に対応が可能 ハードコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシティーを選択し使用用途に合わせて提案
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
