全自動タイプ(2～12inch 及び 角型等)ウェハー露光装置
概要 高精細露光に最適化た独自UV光学系とフォトマスクとウエハを高精度に平行出しできるメカニズムを採用 バキュームコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシミティー迄対応した全自動露光装置 特注対応可能
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基本情報
仕様 ウエハ： 12inch 6～8inch 4～6inch ２～4inch 及び 角型etc 各種サイズに対応可能 ワーク搬送： CtoC, Foup オートアライメント： Top side，Back side＊オプション アライメント精度 ： Top side ±0.8μm以下 / Back side ±1μm以下
価格帯
納期
用途／実績例
パワーデバイス C-MOS裏面 MEMS LED セラミック等
企業情報
光学をベースに未知の世界へ挑戦します。 ２１世紀は≪光の時代≫と言われるほど、光技術の進歩には目覚しいものがあります。物づくりする当社におきましては、その、≪光技術≫を核として、未来指向の技術力をよりスピーディーに進め、時代が必要としている・情報技術 ・超微細技術 ・科学技術に進んで挑戦し、迅速に行動するパワーあふれる企業でありたいと思っております。また、同時に新世紀にふさわしい革新を常に推進し、安全で信頼のおける製品づくりと、世界に必要とされる企業であり続けることを目指し、より豊かな社会に積極的に取り組んでいく所存であります。 今後とも、皆様の一層のご指導とご支援を心からお願い申し上げます。
