石英製ウエハ非接触ハンド
石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧
ウエハを非接触チャッキングする 石英製 耐熱性 クリーンルームにて使用可能
- Company:有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
- Price:応相談
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石英製非接触ロボットハンド。ベルヌーイチャックともいう。気体を噴出することによりエゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧発生と圧
ウエハを非接触チャッキングする 石英製 耐熱性 クリーンルームにて使用可能