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エアベアリング回転ステージ - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

エアベアリング回転ステージ Product List

1～2 item / All 2 items

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A-63xシリーズ　高精度エアベアリング回転ステージ

A-63xシリーズ　高精度エアベアリング回転ステージ

薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

  • csm_A-810_ACS_1e78e41625.jpg
  • その他機械要素

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エアベアリング回転ステージ PIglideA-62x高精度モデル

エアベアリング回転ステージ PIglideA-62x高精度モデル

摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適

PIglide A-62xシリーズは、光学アライメントや精密検査用途に求められる高精度・高安定性を追求したエアベアリング回転ステージです。 摩擦のない非接触回転により、ウォブルや偏心を極限まで抑制。平面度・偏心率は200nm以下と、ナノメートル単位の制御を実現します。 トルクモーターとオプションの絶対値エンコーダにより、位置決めも迅速かつ安全。クリーンルーム対応、水平・垂直どちらの設置にも対応し、実験環境に応じた柔軟なシステム構築が可能です。

  • その他機械要素
  • その他産業用ロボット
  • エンコーダー

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