1～2 件を表示 ／ 全 2 件
独自の高エネルギーUVエキシマレーザ！高性能モバイルディスプレイと同じ実現技術を採用
50年にわたるUVレーザと光学システムの経験から、当社はエキシマレーザ ビームの管理、形成、集束に関する課題に精通しています。 長寿命のレーザ、オプティクス、構造によりリスクを回避し、24時間365日 動作可能。高性能モバイルディスプレイと同じ実現技術を採用しています。 また、垂直統合を活用し、厳しい基準に合わせてシステム全体の設計、 製造、組み立てを行っています。 【特長】 ■垂直統合 ■実績のある産業用ツール ■193nm、248nm、308nmシステムと、カスタム157または 351nmオプションから選択可能 ■独自の高エネルギーUVエキシマレーザを、LTPS、LLO、LIFT、PLD、 LA-ICP-MSなどに対して構成された完全な光学システムで最大限に活用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能
超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10 000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【主な用途】 ・ガラス、フィルムの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング
