超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能
超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【主な用途】 ・ガラス、フィルムの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング
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基本情報
超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【主な用途】 ・ガラス、フィルムの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング
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用途／実績例
超小型ハンディ式エキシマUV装置 本体重量：3.8kg 寸法：W320×D260×H180mm デモ機貸出可能 【社内実験機仕様】 ・実験可能サイズ：600×700mm（最大） ・ランプ照度：50～140mW ・ランプ灯数：5本 ・ステージ搬送速度：0.5～5.8m/min ・雰囲気ユーティリティー：N2、CDA、大気中 ・クリーンルーム：クラス10,000 ・接触角計での測定可能 【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【主な用途】 ・ガラス、フィルムの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング
企業情報
設計ノウハウ、受託・製造パートナーをもつ""技術商社""ならではの製造装置販売、提案、サービスを提供しています。 お客様のニーズに合わせた最適な選定で、実験・開発を行い実績を積んで参りました。常に新たな革新的技術、応用技術を開発して参ります。 装置販売・受託レンタル事業・消耗部品販売をトータルした付加価値の高い提案を行います。