エミッション顕微鏡(測定) - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products

エミッション顕微鏡 Product List

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[EMS]エミッション顕微鏡法

故障箇所を迅速に特定

EMSは、半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。EMMS、PEM、EMIとも呼ばれます。・測定波長領域（可視域から近赤外域）に対して透明な材料のみ評価可能・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能