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オイルフリーLMガイド - 企業2社の製品一覧

製品一覧

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特殊環境用 オイルフリーLMガイド

油を使えない真空環境下での仕様に最適

油を使えない高真空環境下での仕様に最適な特殊環境用オイルフリーLMガイド。転動体に新開発の固定潤滑S膜を使用。またグリースは一切使用せず、構成部品はオールステンレス材を採用しているため、低アウトガス・低発塵を実現しています。

  • 酸化/拡散装置
  • イオン注入装置
  • その他クリーンルーム用機器・設備

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THK オイルフリーLMガイド 製品カタログ

真空度10-6[Pa]に達し、ケミ カルコンタミネーション(有機 物や水分等のガス状汚染)を 嫌う箇所に適しています。

油を使えない真空環境下(~10-6[Pa])での仕様に最適 新開発:固体潤滑S膜を使用 低発塵・低アウトガス

  • 防振・耐震・免振装置

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