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最終更新日:2010年07月16日

THK株式会社
THK株式会社
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油を使えない真空環境下での仕様に最適

油を使えない高真空環境下での仕様に最適な特殊環境用オイルフリーLMガイド。転動体に新開発の固定潤滑S膜を使用。またグリースは一切使用せず、構成部品はオールステンレス材を採用しているため、低アウトガス・低発塵を実現しています。

    酸化/拡散装置イオン注入装置その他クリーンルーム用機器・設備
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特殊環境用 オイルフリーLMガイド

oilfree_1.jpg
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基本情報

● ステンレス材を使用 特殊環境用に構成部品は、すべてステンレス材で構成してあります。 ● 脱脂洗浄 洗浄剤で脱脂処理を施してあります。 ● グリース不使用 グリースは一切使用せず、信頼性の高い固体潤滑S膜を採用しています。 ● 低摩擦 特殊環境用オイルフリーLMガイドは、大気圧から真空環境下において優れた低摩擦性を発揮します。 ● 低発塵 特殊環境用オイルフリーLMガイドは、従来の真空用グリース潤滑に比べ優れた低発塵性を発揮します。 ● 長寿命 特殊環境用オイルフリーLMガイドは、従来の固体潤滑と比べ長寿命です。

価格情報

-

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用途/実績例

半導体・FPD製造装置・露光機・有機EL製造装置・イオン注入装置

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THK株式会社

機械要素・部品

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THKは、1972年に世界に先駆けて機械の直線運動部の「ころがり化」を 実現し、「直動システム」を開発しました。この「直動システム」の 開発は、機械の高精度化、高速化、省力化、さらには効率の向上を 生み出し、省エネを考慮した装置設計を可能にしました。 THKの技術のすべては、あらゆるメカニズムの“動き”に さらなる軽やかさと精確さを与えるために注がれ、 さまざまな革新を世界中にもたらしています。 【THKの主要製品領域】 1.機械要素部品分野: ・LMガイド、ボールスプライン、ボールねじ、電動アクチュエータ等の  開発・製造・販売 2.メカトロ関連製品分野: ・精密XYステージ、リニアモータアクチュエータ等 3.自動車部品分野: ・リンクボール、ロットエンド等 4.ロボット分野: ・ピック&プレースロボット「PPR」、搬送ロボット「SIGNAS」、  サービスロボット「SEED- Solutions 」(ディスプレイロボット、  検温ロボット含む)等 5.免震分野: ・免震テーブルTSD、免震モジュールTGS

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