ウエハ用実験機~量産機まで製作対応可能 オーブン(焼成)ユニット
当社グループであるSCREENフェバックス独自設計『オーブン(焼成)ユニット』のご紹介
当社グループであるSCREENフェバックス独自の設計により、温度再現性、面内の温度均一性は高い性能を誇ります。 液晶市場向けコーターデベロッパーシリーズにインラインされている 焼成ユニットを異業界に展開。 手動実験機から量産機、小サイズから大サイズのワークまで、 好適な仕様をご提案。お客様のご要望に合わせた装置を製作します。 【特長】 ■省スペース化 ■低発塵対応 ■高い温度再現性、面内温度均一性 ■お客様のご要望に合わせた装置製作 【仕様】 ■温度性能 : 0-200℃ ■温度精度 : 150℃±3℃ ■ワークサイズ : 4~12インチウエハ ■方式 : ホットプレート方式(基板支持:プロキピンorリフトピン)
- Company:株式会社SCREENファインテックソリューションズ
- Price:応相談