オーブン焼成機 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS

ウエハ用実験機～量産機まで製作対応可能　オーブン(焼成)ユニット

当社グループであるSCREENフェバックス独自設計『オーブン(焼成)ユニット』のご紹介

当社グループであるSCREENフェバックス独自の設計により、温度再現性、面内の温度均一性は高い性能を誇ります。 液晶市場向けコーターデベロッパーシリーズにインラインされている 焼成ユニットを異業界に展開。 手動実験機から量産機、小サイズから大サイズのワークまで、 好適な仕様をご提案。お客様のご要望に合わせた装置を製作します。 【特長】 ■省スペース化 ■低発塵対応 ■高い温度再現性、面内温度均一性 ■お客様のご要望に合わせた装置製作 【仕様】 ■温度性能　：　0-200℃ ■温度精度　：　150℃±3℃ ■ワークサイズ　：　4～12インチウエハ ■方式　：　ホットプレート方式（基板支持：プロキピンorリフトピン）