高純度ガスろ過用フィルター『Gasfenderシリーズ』
0.003μmまでの精密精度!高温高圧の条件でも高精度なガスろ過を実現
『Gasfenderシリーズ』は、電子分野用ステンレス材を 採用した製品です。 コンパクトな構造で、高温高圧の条件でも 高精度なガスろ過を実現。 半導体プロセスのガスろ過に好適です。また、大流量、 低圧損で優れた耐化学薬品性があります。 【特長】 ■大流量、低圧損 ■電子分野用ステンレス材及び内面電解研磨処理 ■優れた耐化学薬品性 ■100%ヘリウムリークテスト ■0.003μmまでの精密精度 ■多様な寸法選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:日本コベッタ株式会社
- 価格:応相談