［SCM］［SNDM］
キャリア分布を二次元的に可視化
SCM/SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手 法です。 ・SCM：1015～1020cm-3、 SNDM：1014～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ・半導体の極性（p型/n型）の識別が可能 ・キャリア濃度に相関した信号が得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も可能
- Company：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- Price：応相談
キャリア分布可視化装置 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products | IPROS GMS
キャリア分布可視化装置 Product List
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