高温用グラファイト保護コーティング
高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNなどのMOCVDに有効です。
グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。 ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。 【特長】 １）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。 ２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。 ３）高温のMOCVD用部品を保護します。 ４）優れた被覆性を有しています。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
