ゲッターポンプ『マジックNEGポンプ』
取り付け方向自由！ピルNEGを使った極高真空発生向NEGポンプ
『マジックNEGポンプ』は、極高真空（XHV）領域まで排気能力を拡張させた 新しい構想のゲッターポンプです。 ポンプ自体が発生する水素ガスを極力減らすために、ポンプ構成材料と構造を 再構築しました。 当製品に補助ポンプのターボ分子ポンプ（開放系）や小型イオンポンプ（封止切系）と 組み合わせることで、大気圧から排気を開始して24h以内に10^-10Pa台のXHVを 発生させることができます。 【特長】 ■NEGをポンプケーシングの壁面に配置 ■超低ガス放出0.2%BeCu合金製ポンプケーシング ■実効排気速度を10^-10Pa台まで拡張 ■COに対する排気速度が大きい（H2とほぼ同等） ■SUS製ICF070&114フランジに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ヤチダ
- 価格：応相談
