非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。
ゲッターポンプ Insi torr「Fast Pump」は、サエスグループが開発した非蒸発型ゲッターNEG技術に基づく超高真空ポンプです。 このポンプは、アプライドマテリアルズ製PVD、アルミニウムスパッターのために開発されました。 このポンプの開発によってチャンバーがベントしてから復帰して操業に戻るまでの時間が大幅に短縮されます。 【特徴】 ○インシトールファーストポンプをチャンバー内に設置することで ダウンタイムを11時間から7時間に短縮される ○既存設備に改造取付が可能 ○フットプリントに影響を与えず、アップグレーディングに威力を発揮 ○パーティクル特性やフィルム特性に何らネガティブな影響を与えない 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○燃結された非蒸発型ゲッター材から構成される2列のゲッターディスクと 中央に位置する赤外線ランプから構成されている ○ランプの放射熱によりポンプは活性化し、チャンバーがベーキングされる ○ゲッター材は、真空中の活性なガスと化学反応し、その表面に取り込む ○ポンプダウンとプロセスが行われている間、 H2,H2O,CO,CO2,N2,およびO2と反応する ○プロセス中にアルゴンが存在してもポンプの性能には影響しない ○ポンプの2列のゲッターディスクはステンレス製の遮幣板に搭載 ○ポンプには2個のKタイプ熱伝対と、外部の電源と接続するための 電線が組み込まれている ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
ゲッター技術の世界的パイオニア、サエス・ゲッターズ・グループのサエス・ピュア・ガス社の製品を中心に、 ハイテク技術に欠かせない超高純度ガス精製装置とPoint-of -Useガスフィルター、有機EL材、ゲッター剤等材料関連の輸入・販売を行っています。 生産ラインはもちろん、試験・研究に対応したカスタマイズ、小ロット受注など、専門知識を持つ技術営業がクライアントのニーズにきめ細やかに対応いたします。