PARTICLE-FREEゲートバルブ
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする用途に最適なゲートバルブ
– ショックが極小 – パーティクル発生が少ない – 真空部と機構は隔離 – Vulcanized ゲートシール - 長いライフサイクル
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
ゲートバルブ×VAT株式会社 - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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Lゲートバルブ SERIES 92.0
半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
UHVゲートバルブ SERIES 10.8
開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易
- 企業：VAT株式会社
- 価格：応相談
