開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易
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基本情報
サイズ: DN 63-320mm (2 ½“ – 12“) アクチュエータ: クランクハンドルによる手動式、圧空作動式 複動シリンダー、3位置圧空作動式 複動シリンダー ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シーリング技術: VATLOCK
価格情報
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用途／実績例
研究開発および産業のUHVアプリケーションに使用
ラインアップ（21）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 10836-PE01/CE01/UE/01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 10838-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 10840-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 10844-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 10846-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 10848-PE01/CE01/UE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 10850-PE01/TE01/JE01 | 手動式-クランクハンドル |
| 10836-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 10838-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 10840-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 10844-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 10846-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 10848-PE14/CE14/UE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 10850-PE14/TE14/JE14 | 圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 10836-PE28/CE28/UE28/TE28/JE28 | 3位置圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 10838-PE28/CE28/UE28/TE28/JE28 | 3位置圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 10840-PE28/CE28/UE28/TE28/JE28 | 3位置圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 10844-PE28/CE28/UE28/TE28/JE28 | 3位置圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 10846-PE28/CE28/UE28/TE28/JE28 | 3位置圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 10848-PE28/CE28/UE28/TE28/JE28 | 3位置圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
| 10850-PE28/TE28/JE28 | 3位置圧空作動式-複動シリンダー、電磁弁なし、リミットスイッチ付き |
カタログ（1）
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。