ゲートバルブ『True L-Motion Gate Valve』
微細化する半導体プロセスに対応！次世代型角型ゲートバルブのご紹介
『True L-Motion Gate Valve』は、低振動の次世代型角型ゲートバルブです。 OPEN/CLOSE動作時の低振動化のほか、新機構により低発塵化を 実現しました。 オプションにより、シール材質の変更や表面処理の追加が可能です。 【特長】 ■微細化する半導体プロセスに対応 ■低振動：OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現 ■低パーティクル：新機構により低発塵化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ブイテックス 本社
- 価格：応相談
