シリコンウエハー用コロイダルシリカ研磨材『GLANZOX』
より高い平坦性、ダメージフリー、重金属汚染フリーなど完全鏡面の要求にお応え！
『GLANZOX』は、コロイダルシリカを特殊組成液に分散させ優れた研磨面の実現を可能にしました。 近年、デバイス特性に影響する金属不純物についても厳しい低減要求がなされています。これに対し超高純度コロイダルシリカを開発。 ウェーファー端面を鏡面に仕上げる専用のポリシング材「GLANZOX Eシリーズ」などをご用意しております。 【特長】 ■コロイダルシリカを特殊組成液に分散 ■優れた研磨面の実現を可能に ■超高純度コロイダルシリカを開発 ■次元の高いポリシング材をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社フジミインコーポレーテッド
- 価格：応相談
