コンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcel
小型成膜装置！ターゲットは3種類同時に装着可能です。
マルチターゲットコンパクトコーター SVC-700TMSG/Adexcelは、低真空領域において、マグネトロンカソードを用いた直流放電によりプラズマを発生させ、プラズマ中のイオンによってカソードに装着した金属ターゲットをスパッタし、試料表面に薄膜を作製する小型の成膜装置です。 ターゲットは3種類同時に装着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。 【特徴】 ○ターゲットは3種類同時に装着可能 ○真空中にターゲットを選択でき、多層膜を作製可能 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付可能 ○排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続 →抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：サンユー電子株式会社
- 価格：応相談
