シフトフォーカスモニタ - メーカー・企業と製品の一覧

露光解析ツール　位相シフト･フォーカス･モニタ

±25nm3σ以内の高精度。フォーカス･マトリクスが不要です。

露光解析ツール　位相シフト･フォーカス･モニタは±25nm3σ以内の高精度。フォーカス･マトリクスが不要です。既存のオーバーレイ計測器でフォーカス測定ができます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• 企業：リソテックジャパン株式会社
• 価格：応相談

• その他プロセス制御
• 分光分析装置