シャッター機構
マグネット方式で操作は簡単・半永久的！フルオープンタイプなので視界は広範囲
当製品は、真空容器内の蒸着物等に対するビューイングポート用の 保護シャッターです。 バタフライ方式のフルオープンタイプなので、視界は広範囲。 RHEED・光・ビーム等のカットにも応用できます。 各部品には電解研磨処理を施し、超高真空領域までの使用が可能です。 【特長】 ■シャッター駆動部にKMMR-34Sが取り付けられている ■サイズは、ICF-70・114・152・203と豊富 ■各種ビューイングポートに対応可能 ■ストッパーにより、任意のオープン角度の設定が可能 ■許容リーク量は≦1.33×10-11Pa・m3/sec ■許容加熱温度は≦200℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：北野精機株式会社
- 価格：10万円 ~ 50万円
