シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに!メタルフリータイプ
メタルフリータイプは、金属を極限まで排除し、より高次の清浄性を!シリコン半導体の工程など、クリーンなプロセスにおすすめ!
当製品は、販売中のウエハ型セラミックタイプに比べ、金属元素を使用しない 設計のため、金属汚染が気になるお客様でも安心してお使い頂ける製品です。 表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用しており、 基板には標準規格のシリコンウエハを使用。半導体前工程での利用を想定し クリーンなプロセスで利用できるよう設計しています。 【特長】 ■金属元素を使用しない設計 ■表面のインジケータ膜は有機系の材料のみを利用 ■8インチと12インチのサイズをご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:株式会社サクラクレパス PI事業部
- 価格:応相談